半导体气敏元件的工作原理
2009年11月23日 15:29 www.elecfans.com 作者：佚名 用户评论（ 0 ）
半导体 气敏元件的工作原理
半导体气敏 传感器 是利用待测气体与半导体(主要是金属 氧化 物) 表面接触时产生的电导率等物性的变化来检测气体。半导体气敏器件被加热到稳定状态下, 当气体 接触器 件表面而被吸附时, 吸附分子首先在表面自由地扩散(物理吸附) , 失去其运动能量, 其间的一部分分子蒸发, 残留分子产生热分解而固定在吸附处(化学吸附)。这时, 如果器件的功函数小于吸附分子的 电子 亲和力, 则吸附分子将从器件夺取电子而变成负离子吸附。具有负离子吸附倾向的气体有O 2和NO 2, 称为氧化性气体或电子接收性气体。
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